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購買(mǎi)AZO、ITO靶材的注意事項

2017/5/20 20:19:04 來(lái)源:

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1、靶材密度,這個(gè)是較主要的,好的靶密度至少達到97%以上,所以大家買(mǎi)回靶來(lái)以后可以根據重量體積來(lái)計算一下,靶的密度和理論塊體的密度的比例有多少,低于90%不符合標準。
2、開(kāi)裂問(wèn)題,套磁靶很容易開(kāi)裂,所以大家一定要求用cu的背板,這個(gè)是必須的,另外靶材不宜太厚,小于5mm較好了。金屬靶是不大會(huì )開(kāi)裂的,否則它的密度肯定很差。
3、電導率對于A(yíng)ZO,ITO靶材來(lái)說(shuō)非常重要的,買(mǎi)回來(lái)可以測測他們的電導率是多少,不同公司用的粉不同,電導率有很大差別,電阻率越小做出來(lái)的膜導電性肯定越好。

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