肖特在日本推出新型光敏玻璃
8717
【中玻網(wǎng)】德國特種玻璃廠(chǎng)商肖特（SCHOTT）將在日本市場(chǎng)推出光敏玻璃“FOTURANII”，該產(chǎn)品可在紫外線(xiàn)照射下結晶化，可用做半導體及生物技術(shù)領(lǐng)域的玻璃基板。
在紫外線(xiàn)照射下，玻璃本身會(huì )發(fā)生變質(zhì)，再經(jīng)過(guò)熱處理就會(huì )結晶化（陶瓷化），成為光敏玻璃。無(wú)需使用光刻膠，只用氫氟酸即可僅蝕刻結晶化的部分。肖特新產(chǎn)品的特點(diǎn)是，玻璃部與陶瓷部的蝕刻選擇比高達30：1，容易加工。
使用光刻膠蝕刻普通玻璃時(shí)，蝕刻會(huì )向各向同性發(fā)展，因此很難實(shí)現高深寬比加工。而感光性玻璃是選擇性蝕刻結晶化的部分，從原理上來(lái)說(shuō)沒(méi)有深寬比限制，因此能夠實(shí)現20～30μm的微細圖案加工。
曝光時(shí)推薦使用波長(cháng)320nm的紫外線(xiàn)，可使用“UV300”曝光裝置。雖然使用紫外線(xiàn)激光器時(shí)掃描耗費時(shí)間，但不需要掩模。而且，利用激光的焦點(diǎn)，還可實(shí)現玻璃基板內部的隧道結構（橫孔）等復雜的立體結構，而使用以往蝕刻技術(shù)時(shí)必須要層疊玻璃才能實(shí)現。實(shí)際上，目前已有客戶(hù)瞄準微流體展開(kāi)制造，因此有望成為無(wú)需掩模即可制造少量生產(chǎn)的MEMS等的手段。
新產(chǎn)品在晶圓狀時(shí)能夠以非常大300mm（12英寸）的尺寸供應，在片狀時(shí)能以非常大200mm見(jiàn)方的尺寸供應。
除此之外，肖特還在日本展出用于創(chuàng )意家電等的光敏玻璃（玻璃陶瓷），以及已開(kāi)始在智能手機指紋傳感器蓋板中采用的超薄板玻璃等產(chǎn)品。
推薦閱讀
-
NSG集團在波蘭投資建設先進(jìn)鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)
2025-09-04
-
中?？缇?即將走進(jìn)土耳其
2025-09-03
-
-
-
中力玻璃閃耀2025沙特國際玻璃門(mén)窗展 深耕中東綠色建筑市場(chǎng)
2025-05-09
-
《工程玻璃行業(yè)自律倡議書(shū)》
2025-05-08
-
-
申城論道：聚焦玻璃隔熱防曬，共謀行業(yè)新標準
2025-04-29
-
凝聚共識 迎接挑戰｜河北省陶瓷玻璃行業(yè)協(xié)會(huì )玻璃專(zhuān)業(yè)委員會(huì )成立大會(huì )暨第一屆華北玻璃發(fā)展大會(huì )成功舉辦
2025-04-20
-
相關(guān)產(chǎn)品
-
廣州外立面改造玻璃幕墻專(zhuān)業(yè)公司￥3000/平方米
-
佛山中空電鍍電加熱玻璃價(jià)格￥560/平方米
-
馳金光電玻璃電控變色玻璃霧化玻璃成批出售供應￥800/平方米
-
-
佛山廠(chǎng)家直銷(xiāo)4mm耐高溫微晶玻璃￥650/平方米
-
供應鍋爐耐高溫玻璃 觀(guān)察窗玻璃 壁爐玻璃￥1050/平方米
0條評論
登錄最新評論