藍寶石襯底基片清洗機一、設備外型結構及主要參數   名稱(chēng)：藍寶石襯底基片清洗機。   控制模式:  手動(dòng)控制模式   自動(dòng)控制模式。   清洗能力：2-8英寸， 2籃/批，25片/籃。   需甲方提供花籃。   設備形式: 室內放置型。   潔凈度：千級潔凈室 。 二、工藝流程細節及槽體布局及配置   工藝說(shuō)明:手動(dòng)方式實(shí)現放片，取片，槽體間傳送片。   工藝參數（溫度，時(shí)間，DI水清洗流量，時(shí)間）手動(dòng)設定。   設備臺面布局按用戶(hù)要求配制。