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高純鍍膜專(zhuān)項使用銅粒/高純銅粒

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細

銅粒,銅靶,高純銅,高純銅粒,高純銅靶化學(xué)符號:Cu 原 子 量:63.546外觀(guān)純銅:紫紅色金屬 熔    點(diǎn):1083.4℃沸    點(diǎn):2567℃ 密    度:8.92g/cm3蒸 發(fā) 源(絲、片):鎢、鉭、鉬、鈮 坩    堝:Mo、C、Al2O3在10-4Torr蒸發(fā)溫度:1017℃  薄膜的機械和化學(xué)性質(zhì):膜層附著(zhù)不好,利用中間層Cr可增加附著(zhù)力;

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